Gr1 Gr2 と Gr5 TiAl合金チタンスプッターターゲットでPVDコーティングを革命させる

PVDコーティングのためのGr1,Gr2,Gr5 TiAlチタン合金:応用と利点

タイタンとその合金物は,特に物理蒸気堆積 (PVD) コーティングの領域で,様々な産業用用途で重要な地位を獲得しています.使用可能な様々なグレードの中で類1 (Gr1),類2 (Gr2),および類5 (Gr5) のチタン合金,チタン・アルミニウム (TiAl) を含め,そのユニークな特性により特に注目に値する.これらの材料は,複数の部門でコーティング製品の性能を向上させる上で重要な役割を果たしています航空宇宙,自動車,電子機器を含む.

タイタン の 種類 を 理解 する

1級チタンは,例外的な柔らかさと耐腐蝕性で知られています.これは,約99.5%のチタンを含有する最も純粋なチタンの形態であり,非常に柔軟性があり,製造が簡単です.このグレードは,腐食が懸念される環境で特に有用です優れた溶接性が複雑な幾何学の生産を可能にし,様々な用途で好ましい選択になります.軽量で強固な部品を必要とする部品を含む.

2級チタンは 1級と同じような利点がありますが 強化された強度ですGr2 は より 良い 機械 特性 を 提供 し て い ます が,同時に 優れた 腐食 耐性 を 保ち ます材料が厳しい環境に耐える必要があります. Gr2チタンは,熱交換機などのアプリケーションで使用されることが多い.圧力容器耐久性と信頼性が第一です.

5級チタン (Ti-6Al-4Vとしても知られる) は,最も一般的に使用されるチタン合金の一つである.90%のチタン,6%のアルミ,4%のバナジウムから構成され,Gr5は高強度と軽量を組み合わせています.航空宇宙の用途に最適になる機械的特性により,大きなストレスや気温変動に耐えることができ,要求の高い環境でも信頼性があります.疲労耐性と複雑な形状に加工できる能力により,Gr5は様々な高性能アプリケーションに汎用的な選択肢となっています..

ティアル タイタン合金 の 役割

チタン・アルミニウム (TiAl) 合金,特にグレード5チタンを使用する合金,PVDコーティングのための主要な選択として出現しています.TiAl合金には低密度と高強度が組み合わせられています.高温環境での性能に寄与するアルミニウムを加えることで,酸化抵抗と熱安定性が向上します.軽量材料が効率性にとって不可欠な航空宇宙および自動車用途に適している.

TiAl を PVD コーティング に 使う こと に よっ て,表面 特性 を 大きく 向上 さ せる 薄い フィルム が 形成 さ れ ます.これらのコーティング は 硬さ,耐磨性,化学 安定性 を 向上 さ せる こと が でき ます.厳格な運用条件にさらされた部品の使用寿命を延長する提アルコーティングが高温で整合性を維持する能力は,タービンブレードやジェットエンジンの他の部品に特に有用である.高温に晒されることが一般的な問題である場合.

PVD コーティング プロセス と 利点

物理蒸気堆積は,物理蒸気化過程で薄膜を基板に堆積させる真空塗装技術である.PVDプロセスは,コーティング厚さと組成の正確な制御を可能にします特定の性能特性を要求するアプリケーションに最適です.

Gr1,Gr2,Gr5 TiAlチタン合金を使用したPVDコーティングにはいくつかの利点があります.コーティングは通常,従来のコーティングよりも硬くて耐磨性があります.コーティングされた部品の耐久性を向上させるこれは特に自動車や航空宇宙などの産業において重要であり,部品は劣化せずに過酷な運用条件に耐えなければならない.

さらに,チタンとその合金物の軽量性により,全体的なエネルギー効率が向上します.部品の重量を減らすことで,燃料を大幅に節約し,性能を向上させることができます.PVDコーティングで複雑な形状を作成する能力は,設計者が強さを犠牲にせずに重量削減のためにコンポーネント幾何学を最適化することを可能にします.

産業間での応用

Gr1,Gr2,Gr5型チタン合金,特にPVDコーティングプロセスでスプッターターゲットとして使用する際の汎用性により,さまざまな産業でさまざまなアプリケーションができます.航空宇宙分野自動車産業でも同様で,これらの材料は,強度/重量比が決定的な他の重要な部品として,タービンエンジン,機体フレームに使用されています.高性能車両で利用される燃料効率と全体的な性能の向上に貢献する.

電子機器では,チタン合金を使用したPVDコーティングが半導体や太陽光パネルの製造に使用され,耐久性と効率を向上させる.これらのコーティングが表面特性を向上させる能力は,耐磨性や腐食性を必要とするアプリケーションに理想的ですさらに,医療分野は,インプラントや義肢に使用されるコーティングで,生体組織との長寿と統合を改善するために,チタン生物互換性から恩恵を受けています.

結論

結論として,TiAlと共にGr1,Gr2,Gr5のチタン合金も,PVDコーティングの生産において不可欠な材料である.強度テクノロジーの進歩と高性能材料の需要が増加し続けているため,このチタン合金によるPVDコーティングの利用は拡大する可能性が高い様々な分野におけるさらなる革新と改善をもたらしました.タイタンの固有の性質と先進的なコーティング技術との組み合わせは,重要な部品の性能と長寿を向上させることを約束しますエンジニアリングと製造の進歩を推進する

2目標の主要パフォーマンス要件

(1) 純度

純度 は ターゲット の 主要 な 性能 指標 の 一つ です. ターゲット の 純度 は フィルム の 性能 に 大きな 影響 を 及ぼし ます.対象材料の純度要求も異なります例えば,マイクロ電子産業の急速な発展により,シリコンウエファのサイズは6"から8"から12"に増加し,ワイヤリング幅は0.5umから0.25um,0.5mmに削減されました.18um または 00.35umICの技術要件を満たし,0.18umのラインの準備には,目標の純度のために99.999%または99.9999%が必要です.

(2) 汚れの含有量

標的固体と孔の中の酸素と水蒸気における不浄性は,堆積されたフィルムの主要な汚染源である.異なるターゲットには,異なる不浄物含有量に対する異なる要求があります.例えば,半導体産業で使用される純アルミとアルミ合金ターゲットは,アルカリ金属含量および放射性元素含量に関する特別な要求事項があります.

(3) 密度

標的の固体内の毛穴を小さくし,スプッターフィルムの性能を向上させるために,通常は標的がより高密度である必要があります.標的の密度は 発射率に影響するだけでなく標的密度が高くなるほど,フィルムの性能も向上します.また,標的の密度と強度を増やすことで,標的はスプートリング中に熱圧によりよく耐えることができます.密度も目標の重要なパフォーマンス指標の一つです.

(4) 粒の大きさと粒の大きさの分布

対象材料は通常ポリ結晶で,粒の大きさは マイクロンからミリメートルの範囲に及ぶ.細粒子の標的の噴射速度は,粗粒子の標的よりも速い粒の大きさのわずかな違い (均一な分布) で標的を噴射することで堆積されるフィルムの厚さはより均一である.

3材料

(1) について純チタン:クラス1 (Gr1),クラス2 (Gr2)

(2) についてチタン合金:5級チタン,チタン・アルミニウム (TiAl),チタン・ニッケル (TiNi),チタン・クロム (TiCr),チタン・ジルコニウム (TiZr),銅・チタン (TiCu),その他

(3) について他の材料:ジルコニウムスプッターターゲット,クロムスプッターターゲット,ウォルフスタンスプッターターゲット,銅スプッターターゲットなど

4目的

電子産業における装飾用コーティング,耐磨コーティング,CDやVCDコーティングに一般的に使用される.磁盤の様々な用途にも使えます.

高温 合金 フィルム は 独特 な 特質 を 備える.タングステン は 高度 の 融解 点,卓越 し た 強度,低 熱 膨張 率 で 知ら れ て い ます.W-Ti合金には低抵抗性があるアルミ,銅,銀などの伝統的な配線金属が広く使用されているが,酸化,環境への反応性これらの金属は簡単にシリコンや二酸化シリコンのような基板材料に拡散することができます.不純物として作用し,装置の性能を著しく低下させる化合物を形成する.

W-Ti合金とは対照的に,ワイヤリングアプリケーションで効果的な拡散障壁として機能します. 安定した熱機械特性,低電子移動性,高耐腐蝕性,化学的安定性により,高電流と高温要求環境に特に適しています..

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工場

パッケージと配達:

パールコットンでターゲットの材料を包んで 木製の箱に入れてください. 私たちの合理的なパッケージング方法は,輸送中にターゲットの材料が互いに衝突するのを防ぐことができます.また,外部の商品が製品に及ぼす影響を防ぐこともできます製品が配達された後 製品が配達されていることを保証します

- - - - - - - - - - - - - -封印された包装は カートンケースか 標準的な標準的なプレプレイスカーに入れます

- - - - - - - - - - - - - 2顧客ロゴのカスタムカートンを使用し 購入者が直接販売できるように

--- 顧客の要求に応える

各パックがあなたに合わせたものだと確認してください.商品を手に入れたら 損傷しないようにします