タイタンの材料 ターゲット ディスク タイタンのディスク グレード1 グレード2 コーティング用チタン合金

タイタンの材料 ターゲット ディスク タイタンのディスク グレード1 グレード2 コーティング用チタン合金

チタン合金標的/チタンスプッティング標的/チアル合金標的は,物理蒸気堆積 (PVD) プロセスにおいて不可欠な材料である.特殊なスプートリングに使用され,様々な基板に薄いコーティングを作成するこれらの標的は,一般的にチタン (Ti) またはチタン合金 (チタン-アルミ合金のためのTiAlなど) から作られ,真空室で表面にスプートされ,薄膜を形成します.これらのコーティングは幅広い用途がありますエレクトロニクスや装飾品まで

スプッターターゲットは?

発射過程では,標的は真空室でエネルギーイオン (典型的にはアルゴンイオン) で爆撃される.対象材料から原子が投射されるか,基板 (金属など) に"噴射"される.薄いコーティングまたはフィルムを形成する.チタン合金標的およびチタン発射標的は,このプロセスで様々な目的で一般的に使用されます.

チタン合金標的の種類:

1. チタン (Ti) 対象:

   • 純チタンターゲットは,医療インプラント,航空宇宙,電子部品などの純チタンフィルムを必要とするアプリケーションに使用される.
   • タイタンのスプートリングターゲットは,耐磨コーティング,カソード,光学コーティングなどのアプリケーションのために,薄い層のタイタンの堆積にも使用されます.

2. チタン・アルミニウム (TiAl) 合金 目標:

   • TiAl合金噴射標的は,チタンとアルミニウムを組み合わせることで作られ,硬度,耐磨性,熱安定性などのユニークな特性を提供します.
   • TiAlコーティングは,高温耐性や耐腐蝕性があるため,航空宇宙,自動車,工具などの産業でよく使用されています.
   • これらの合金標的は,様々な表面の装飾用コーティング,ハードコーティング,耐腐蝕コーティングに使用できます.

チタン合金のスプッターターゲットの用途:

1. 航空宇宙:

   • TiAlを含むチタン合金は,通常,航空宇宙産業でタービンブレード,エンジン部品,航空機表面のコーティングを作成するために使用されます.このコーティング は 磨き に 対し て 保護 を 与える高温での酸化と腐食

2. 半導体および電子機器:

   • タイタン発射標的は半導体産業で,コンデンサ,レジスタ,インターコネクトのための薄膜の堆積に使用される.ハードドライブにコーティングを作るための電子機器にも使われます太陽電池やディスプレイ

3. 装飾用コーティング:

   • チタンとチタン合金噴射標的は,金属的で美的な仕上げを提供する装飾塗料に使用されます.これらの塗料は,しばしば宝石,自動車部品,消費電子機器.

4. 耐磨性コーティング:

   • TiAlコーティングは,切削ツール,模具,マース,工業機器に耐磨性を向上させるために適用されます.チタン合金を使用する理由は,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,硬い,耐久性のある表面で 磨きや摩擦に耐える.

5. バイオメディカル用途:

   • チタンターゲットは,インプラント,義肢,歯科材料などの医療機器をコーティングするために使用されます. チタンの生物互換性により,スムーズで均質な,骨や組織に組み込まれるようにする.

6. エネルギー:

   • TiAlコーティングは太陽電池,電池,エネルギー変換装置の耐久性や性能を向上させるため.

7. オプティカルコーティング:

   • チタン合金も光学コーティングに使用される.鏡の反射コーティング,レンズの反反射コーティング,光学表面の保護コーティングなど.

チタン合金スプッティングターゲットの主要な利点:

1. 優れた強度/重量比:

   • タイタン と その合金 は,強度 と 重量 の 優れ た 比率 で 知ら れ て い ます.これ は,軽量 で も 強い コーティング が 必要 と なっ て いる 用途 に 理想 的 に なり ます.

2. 耐腐食性:

   • タイタン合金,特にTiAlは,高温や塩水環境などの厳しい環境における耐腐蝕性に優れた性能を有し,航空宇宙,海事,要求の高い産業.

3. 耐磨性:

   • TiAlコーティングは硬くて耐磨性があり,摩擦や磨損を伴う産業における部品の使用寿命が長くなります.

4. 生物互換性

   • タイタンは生物相容性があるため,生物医学用アプリケーションで広く使用されており,医療用コーティングやインプラントのための好ましい材料となっています.

5. 高温耐性

   • タイタン合金,特にTiAlは高温に耐えるように設計されており,耐熱性が不可欠な航空宇宙,自動車,タービンエンジンの用途に適しています.

製造と品質の考慮:

1. 純度:高性能アプリケーションでは,高純度チタンターゲットはしばしば必要であり,噴射されたフィルムの均一性を確保し,不純物を最小限に抑える.

2. 密度と孔隙:標的の密度と孔隙は,噴射効率に影響を与える可能性があります.一貫性のある高品質のコーティングのために高密度ターゲットが好ましいです.

3. ターゲット幾何学: 発射標的は,通常,円形,長方形,または特定の発射システムに基づいてカスタマイズされたような様々な形状で製造されます.フィルムの均一性とスプッティング出力に影響を与える.

4. 合金組成:TiAlおよび他のチタン合金については,合金組成の正確な制御 (例えば,TiAl のアルミニウムの割合は,スプッターフィルムが望ましい性質を維持することを保証するために重要です.硬さ,耐磨性,熱安定性など

チタン級概要:

1級チタン (Gr1)

• 組成: Gr1は商業的に純粋なチタンで,約99.5%のチタンで構成され,少量の不純物,主に鉄を含有する.
• 属性:
  • 高耐腐食性:Gr1は,特に塩水環境では,腐食に優れた耐性を有し,海洋および医療用途に非常に適しています.
  • 柔らかさと形容性: Gr1は最も柔らかく柔軟なチタン級である.複雑な形状に簡単に形成され,カスタム形状を必要とするアプリケーションに理想的です.
  • 低強度: Gr1は最も優れた形容性があるが,Gr2またはGr5のような他のチタン合金と比較して引き締り強度が低い.

2級チタン (Gr2)

• 組成: Gr2は商業的に純粋なチタンでもあり,不純度がわずかに高い (鉄の0.3%まで).約99.2%のチタンを含んでいます.
• 属性:
  • Gr1より高い強度: Gr2は強度,柔らかさ,耐腐蝕性のバランスをより良く提供します. Gr1よりも強いが,依然として優れた形容性と溶接性を備えています.
  • 耐腐蝕性: Gr1と同様に,Gr2チタンは耐腐蝕性に優れているため,人間の体や海洋アプリケーションなどの厳しい環境で使用するのに適しています.
  • 応用: 医療インプラント,歯科機器,航空宇宙部品,化学加工機器に使用される.

チタンディスク (Gr1とGr2) 尺寸と用途

35mmから550mmまでの直径を持つチタンディスクは,プレート,シート,空白,または切断部品などの様々な用途で生産することができます.これらのディスクは,より大きなアプリケーションで使用することができます航空宇宙,自動車,医療などです

チタン Gr1, Gr2 と チタン アルミ合金 ディスク の 利点

1. 耐腐蝕性:チタンは,特に海洋環境,医療インプラント,化学加工において,優れた耐腐蝕性で知られています.

2. 高強度/重量比:チタン合金材はアルミニウムのような純金属よりもはるかに強いが,非常に軽い.この組み合わせは,航空宇宙および高性能アプリケーションに理想的です.

3. 生物互換性:チタン,特にGr2は,インプラントや外科用部品における免疫拒絶のリスクを軽減する生物互換性により,医学分野で広く使用されています.

4. サイズ:チタンディスクは,様々な直径と厚さ (35mmから550mm) で生産され,さまざまな産業用アプリケーションに汎用化できます.このディスクはさらに加工 (切断) することができます特殊な要求を満たすため.

5. 疲労耐性:チタン合金,特にアルミニウムと組み合わせると,疲労耐性が優れているため,部品が繰り返し負荷を受けるアプリケーションに最適です.航空宇宙産業や自動車産業など.

歯科用チタン合金類:

結論は

TiAl合金を含むチタン合金噴射標的は,航空宇宙から電子機器,生物医学に至る産業におけるコーティングアプリケーションに使用される汎用材料です.この材料は強さなどの 特殊な特性を持っています耐腐食性,生物互換性,耐磨性があり,耐久性があり高性能な薄膜を必要とする要求の高いアプリケーションに最適です.タイタンのスプッター標的を選ぶとき合金組成,純度,標的幾何学などの要因は,噴射過程で最適な結果を達成するために考慮する必要があります.